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临时键合胶 | 柔显DT系列键合胶,为一种特定的起到临时黏接作用的中间层有机黏接材料,可将晶圆和晶圆载板临时黏接在一起,有效防止超薄晶圆在加工过程中由于机械和热应力等因素产生翘曲或断裂,同时具备良好的解键合和易清洗能力 | DT系列 | 常温、低压力键合;极强的耐高温能力,300℃长期耐温>1.5h;可机械、激光解键合(248nm/308nm/355nm) |
关键词:临时键合胶
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临时键合胶
柔显DT系列键合胶,为一种特定的起到临时黏接作用的中间层有机黏接材料,可将晶圆和晶圆载板临时黏接在一起,有效防止超薄晶圆在加工过程中由于机械和热应力等因素产生翘曲或断裂,同时具备良好的解键合和易清洗能力
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