抛光垫
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所属分类: CMP制程材料

高硬度系列产品,具备高平坦化效率、高研磨去除率和长使用寿命等优点

产品详情

产品系列 产品介绍
晶圆抛光硬垫 抛光硬垫是化学机械抛光(CMP)工艺核心耗材,其通过机械摩擦与化学腐蚀协同作用,去除晶圆表面材料并实现纳米级平整度。
大硅片抛光垫/晶圆抛光软垫 抛光软垫是化学机械抛光(CMP)工艺核心耗材,主要用于精抛和终道抛光;相较于硬垫,软垫具有更好的表面适应性,能减少划痕并提高光洁度。
第三代半导体抛光垫 第三代半导体抛光垫是化学机械抛光(CMP)工艺核心耗材,通过化学腐蚀与机械研磨的协同作用,去除晶圆表面材料并实现纳米级平整度。由于SiC和GaN硬度高(SiC莫氏硬度达9.5),传统抛光垫难以满足需求,因此采用特殊材料和结构设计,以平衡硬度与柔韧性,减少表面缺陷。

关键词:抛光垫

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