PAD月销量破两万 核心材料微球已量产
所属分类: 媒体报道
发布时间: 2024-06-05
概要: 国内首家且唯一一家为集成电路CMP环节提供全产品综合性方案服务商
近年来,得益于高算力、AI应用、5G通信、人工智能等领域的迅猛进步,半导体晶圆需求持续增长,有力带动了CMP抛光材料供给行业的蓬勃发展。
PAD最新5月单月销量破两万片。鼎龙股份早在2012年率先进行CMP抛光垫前瞻性布局,如今已成功实现“制程全覆盖、产品全替代”的产品序列,成为国内部分核心头部晶圆厂CMP抛光垫的第一供应商。2024年5月,公司更是创造了抛光硬垫单月销售破2万片的历史新高。

鼎龙股份作为一家创新材料平台型企业,除提供CMP抛光垫应用服务外,还结合CMP抛光液、清洗液等产品的战略布局,不断优化并提升系统化的CMP各环节产品支持能力、技术服务能力以及整体方案解决能力。

--- 硬垫、软垫全覆盖:全面构建涵盖CMP硬垫与软垫的完整产品体系。武汉本部CMP抛光硬垫产线的成功量产,让公司抛光垫产品迅速在国内主流客户放量导入,并渗透至一供水平;2022年潜江CMP软垫工厂的建成及量产订单收获,在国内主流客户进一步打开更大市场空间。
--- 制程节点全覆盖:在满足客户成熟制程抛光垫产品需求、对抛光垫产研技术和应用工艺深刻理解的基础上,公司跟进客户需求,与客户共同成长,积极开发更先进制程产品。鼎龙抛光垫产品型号高达几百种,覆盖率近100%,能全方位满足国内下游晶圆客户各制程节点工艺需求。
--- 应用工艺全覆盖:除深耕晶圆制造CMP环节抛光垫产品,公司成功延展至大硅片用抛光垫、先进封装用抛光垫领域,客户向主流硅片厂、封装厂客户端不断拓展。



--- 微球:CMP抛光垫中的热膨胀聚合物微球是技术壁垒最高的微球产品,一直被美资企业独供。2021年,该独供企业宣布停产,一纸告知函引发了全球CMP抛光垫厂商的震荡。为了保障CMP抛光垫供应链的安全,鼎龙启动了微球自主化项目。微球在抛光垫中主要作用是形成孔隙,能够在微观层面承载抛光液,粒径的大小、粒径均一性直接影响到抛光的定性,重要性在某些层面上甚至超越了预聚体。
微球合成,主要分为两步,一是合成、二是发泡。合成所用到的乳液聚合,与传统业务碳粉技术路线高度重合,发泡技术也与碳粉干燥工艺深度同源,这也是我们能够攻克微球的底气所在。
鼎龙利用在碳粉行业20多年积累的高分子材料合成经验,结合对微球产品的理解,成功完成微球的小规模产业化工作,其粒径波动更小、粒径分布更窄,应用性能更稳定,客户端自产替代稳步推进中。同时,为进一步提升产能与效率,鼎龙还启动了微球扩产项目,预计投产后将具备年产五十吨级微球能力,足以满足中国CMP抛光垫市场的下游需求。
--- 预聚体:预聚体在抛光垫中的重量占比超过70%,并长期为外国厂商所独供。鼎龙在18年便启动了原材料自主化项目,依托于鼎龙高分子和有机合成平台技术积累,经过两年的攻坚,终于完成预聚体的全面自主化,平稳完成自主预聚体的替代工作。
--- 缓冲垫:鼎龙潜江抛光垫工厂的投产,显著提升了缓冲垫的开发能力及速度,数款自研的特殊缓冲垫在先进制程产品推进中发挥了重要作用。


鼎龙股份已成为国内部分核心晶圆厂客户CMP抛光垫的第一供应商,渗透程度不断加深,产品销售收入持续提升,并于2024年5月创下抛光硬垫单月销售破2万片的历史销量新高;CMP抛光液、清洗液产品也于2023年进入快速上量阶段,实现产品销售收入0.77亿元,高速增长趋势明显。
同时,经过三年的不懈努力,公司在海外市场拓展方面取得了重要进展,有望在今年年内成功获得海外市场重要客户的订单。

公司始终用稳定的质量和及时的交付能力回馈巩固着客户的信任,获得客户一致认可,2023年度公司获下游核心晶圆厂客户长江存储、中芯国际、华力的优秀供应商奖项,展现出公司强大的综合供应能力。
高效的生产制造能力。公司CMP抛光垫产品持续稳定量产多年,严格按照生产环境洁净化、生产控制自动化、原料供应自主化、生产管理信息化的标准,生产管理理念、工艺、设备和检测方法不断改良,工厂良率、效率和材料利用率持续提升,产品品质稳定性达到更高水平。武汉公司具备年产40万片硬垫及潜江年产20万片软垫及抛光垫配套缓冲垫的现有产能条件。

严谨的品质管理体系。构建了近300名专业人员品质管理体系,深入参与研发过程中的品质检测,并持续与客户端和应用端保持紧密的同频,确保我们的品管工作始终与客户需求保持高度一致。
强大的技术研发实力。通过建立7大创新技术平台,覆盖从材料科学到工程装备设计等多个领域,为强适配能力提供有力的技术支持。
深厚积累并熟练运用“微粒、微量、微控”共性技术,包括在纳米级微粒表征上的表面化学技术,对杂质、金属离子追求极致微量的纯化分离技术,以及对极窄应用窗口、指标做到极高微控要求的工程化控制手段。
持续的产品迭代能力。目前国内半导体行业正处于技术飞速发展的阶段,鼎龙凭借多年技术沉淀与丰富的机台实操经验,顺利融入下游技术的快速迭代中,实现产品与客户需求的全场景匹配,持续基于客户需求进行产品迭代。


在人才建设方面,一直秉承鼎龙人才本土化培养的优良传统,致力于为人才搭建平台,培育本土化的精英团队,特别是在CMP材料领域具有深厚造诣的顶尖专家、经验丰富的品质管理专家、精通自动化控制的资深专家。


关键词: PAD月销量破两万 核心材料微球已量产
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