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ghi线曝光; 分辨率2μm~3μm; 覆盖高/低感光度PSPI; 膜厚1μm~5μm; 固化温度250℃~280℃; 具备优异的光学、力学性能
关键词: PSPI 光敏聚酰亚胺光刻胶